A refroidisseurest un dispositif d'eau de refroidissement qui peut fournir une pression constante, une température constante et un débit constant. Il s'agit d'injecter une quantité appropriée d'eau dans le réservoir d'eau, de refroidir l'eau à travers le système de réfrigération et d'utiliser une pompe pour transporter l'eau de refroidissement vers l'équipement qui doit être refroidi. L'eau de refroidissement évacue la chaleur de l'équipement pour obtenir l'effet de refroidissement. L'eau de refroidissement est ajoutée aux équipements à fréquence intermédiaire principalement en raison de sa haute fréquence et de son courant important. Lorsque la cible de pulvérisation magnétron est utilisée, elle génère une température élevée et déforme le pistolet, une chemise d'eau est donc nécessaire pour refroidir le pistolet. La pulvérisation magnétron peut être considérée comme l’une des réalisations les plus remarquables en matière de technologie de revêtement. Ses avantages sont une bonne force de liaison film-substrat, un taux de pulvérisation élevé, une faible élévation de température du substrat et une bonne stabilité du dispositif. Le refroidisseur dispose d'un système de circulation d'eau indépendant et d'un système de réfrigération indépendant, qui n'est pas affecté par l'environnement extérieur. Ensemble, ces caractéristiques fournissent un contrôle fiable de la température et des résultats de revêtement de haute qualité pour le processus de revêtement ionique sous vide.
La fonction et les caractéristiques du refroidisseur dans la machine de revêtement ionique sous vide comprennent :
1. Refroidissement de la cible : La cible dans la machine de revêtement ionique sous vide est utilisée pour générer des ions métalliques, mais elle générera beaucoup de chaleur pendant le processus de revêtement. Le refroidisseur refroidit rapidement la cible via le système de refroidissement à circulation pour maintenir la température de fonctionnement normale de la cible, empêcher l'équipement de surchauffer pour provoquer une panne ou réduire la qualité du revêtement et assurer une production stable d'ions.
2.Contrôle de stabilité : Lerefroidisseurpeut contrôler de manière stable la température de l'équipement pour garantir que l'équipement fonctionne de manière stable dans la plage de température de fonctionnement normale. Cela aide à maintenir la cohérence et la stabilité du revêtement, améliorant ainsi la cohérence et la fiabilité de la qualité du revêtement.
3. Ajustement de haute précision : Les paramètres de fonctionnement du refroidisseur peuvent être ajustés en fonction d'exigences spécifiques, notamment la température, le débit et la pression de l'eau de refroidissement. Cela permet au refroidisseur de fournir un contrôle précis de la température en fonction des différentes exigences de revêtement, garantissant ainsi la stabilité et la haute qualité du processus de revêtement.
3. Économie d'énergie : la capacité de refroidissement à haut rendement et la fonction de contrôle précise du refroidisseur aident à réduire la consommation d'énergie. En contrôlant efficacement la température de l'équipement, le gaspillage d'énergie supplémentaire peut être réduit et l'efficacité de l'utilisation de l'énergie peut être améliorée.
5. Performance de protection de l'environnement : l'application d'un refroidisseur dans une machine de revêtement ionique sous vide peut réduire l'impact négatif sur l'environnement. Il utilise de l'eau en circulation pour le refroidissement, réduit la consommation d'eau et produit moins de bruit et de vibrations pendant le fonctionnement.
6.Contrôle environnemental : L’application du refroidisseur dans la machine de revêtement ionique sous vide peut également contrôler la température et l’humidité ambiantes pour fournir un bon environnement de travail. Une température et une humidité ambiantes appropriées peuvent augmenter le degré de vide, réduire l'impact des impuretés et des gaz et améliorer la qualité du revêtement.
En résumé, l'application derefroidisseursdans les machines de revêtement ionique sous vide couvre de nombreux aspects tels que les cibles de refroidissement, les substrats de refroidissement, les équipements de refroidissement et le contrôle environnemental, garantissant le contrôle de la température de l'équipement et des pièces pendant le processus de revêtement, améliorant ainsi la qualité et la productivité du revêtement.